微光显微镜(EMMI)


PHEMOS-1000

       PHEMOS-1000是一款标准型高分辨率微光显微

镜,其包含了一个红外共焦激光显微镜。PHEMOS-

1000可根据设备环境和设备装置来灵活改变包括插

座板到300mm双面晶片探针等等的部件。它还可以

适配高灵敏度近红外相机和高分辨率纳米透镜等选

配件。该显微镜有多种选配,包括红外-光致阻值改

变(IR-OBIRCH)分析、与大规模集成电路测试机连

接和CAD导航功能等,这些选配有助于该显微镜处理

多种测量需要。






产品特性

 ●  可选配适用于高分辨率、高灵敏度观测的纳米透镜

 ●  红外共焦激光显微镜

 ●  红外-光致阻值改变(IR-OBIRCH)分析功能(选配)

 ●  低电压样品用高灵敏度近红外相机(选配)

 ●  数字lock-in组件加强红外-光致阻值改变的检测能力(选配)

 ●  可安装300mm双面半自动探针


显示功能


HEMOS-1000将发光图像叠加到高分辨率模板图像上来快速定位缺陷点。对比度增强功能可使图像更清晰,细节更多。

注释:图像的任何位置都可以显示评论、箭头等注释符号。

比例显示:可使用分段,在图像上显示比例宽度。

栅格显示:图像上可现实水平和垂直栅格。

缩略图显示:图像可以以缩略图的形式存储和调用,stage坐标等图像信息也可显示。

分屏显示:模板图像、发光图像、叠加图像以及参考图像可一次显示在4个窗口的屏幕上


参 数
产品名称 PHEMOS-1000
探测目标 器件发光(发光探测功能)
电流改变(IR-OBIRCH功能)
可用器件 300 mm 晶片
200 mm晶片
方块形芯片
切割后晶片、封装后器件(取决于探针和样品固定装置)
适配探针 200/300 mm晶片用双面半自动探针*1
200/300 mm晶片用双面手动探针*1
200/300 mm晶片用半自动探针(正面观测)*1
200/300 mm晶片用手动探针(正面观测)*1
尺寸/重量 主单元: 1360 mm (W)×1410 mm (D)×2120 mm (H), Approx. 900 kg*2
控制台:880 mm (W)×700 mm (D)×1542 mm (H), Approx. 255 kg
PC桌:1000 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H), Approx. 45 kg
线电压 AC220 V (50 Hz/60 Hz)
功耗 3000W
真空度 约80 kPa
压缩空气 约0.5 MPa~0.7 MPa




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