QUANTA FEG450

     

设备简介

     Quanta FEG系列场发射环境扫描电子显微镜是FEI公司的最新产品之一。是在FEI公司著名产品XL30 

ESEM-FEG发射环境扫描电子显微镜的基础上发展而来的。 

     Quanta FEG场发射环境扫描电子显微镜综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性

的优势,可对各种各样的样品(包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、加热样品等等)进行高分辨

的静态和动态观察和分析。 

     Quanta FEG具有优异的系统扩展性能,可同时安装能谱仪、波谱仪、EBSP、阴极荧光等附件。
设备性能指标
* 分辨率: 
 二次电子:高真空模式 1.0nm @ 30kV; 3.0nm @ 1kV 
        高真空减速模式 2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V (可选项) 
         低真空模式 1.4nm @ 30kV; 3.0nm @ 3kV;
        环境真空模式 1.4nm @ 30kV 
背散射电子:高真空和低真空模式 2.5nm @ 30kV 
 扫描透射STEM探测器  0.8nm @ 30kV ;
* 加速电压 200V ~ 30kV, 连续可调 ;
* 高稳定性Schottky场发射电子枪; 
* 最大束流 200nA ;
* 样品室压力最高达4000Pa ;
* 样品台移动范围 X=Y=100mm ;
* 稳定的大束流(最大200nA)确保高速、准确的能谱、波谱和EBSD分析; 
* 可安装冷台、加热台、拉伸台等进行样品原位、动态观察和分析。
 

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