V400ACE


                                                                            

V400ACE 聚焦离子束

V400ACE 聚焦离子束 (FIB) 系统融合了离子柱设

计、气体输送和终点检测方面的最新研究成果,可

快速、有效、经济高效地修改高级集成电路。

通过电路修改,产品设计人员可在几小时内重新设

定传导通路的路线并测试修改后的电路,而不用花

几周或几个月的时间制成新掩膜并处理新晶圆。由

于减少了修改和测试环节,所需时间也更短,制造

商能借此迅速提高新工艺,更快提高产量并实现盈

利,还能率先将新产品投放到市场并取得溢价。



V400ACE 的电子工业应用

V400ACE 专为解决高级设计与工艺面临的挑战而设计:

寸更小、电路密度更高、采用了特殊材料和复杂的互连

构。使用选配的 IR 显微镜和块状硅刻蚀工具配置V400

ACE时,它还能具备背面编辑功能。

  ● 快速、准确的电路修改功能能够在数小时内对设计进行  更需加工新的硅片

  ● NanoChemix 供气系统提高了材料移除和沉积时的速度、

    灵性、均匀性和质量

  ● Tomahawk离子柱能将更多电流集中于更小的一点,

    现快、更精确的铣削

  ● SE 同步绘图和标本电流提高了终点检测功能
  ● 快速、准确的切片分析可揭示缺陷和表面下的特征
  ● 一流的薄样本制备和三维表征与分析能力



                          

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