SEM(扫描电子显微镜)



      扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一

束高能的射电子轰击物质表面时,被激发的区域将生二次电

子、X光信号、背面射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产

的电磁辐射。根据信号强度形成形貌照片,能高倍率观察表面

观形貌。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被

样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体

构、电子结构和内部电场或磁场等。


应用范围

观察芯片内部层次的厚度,看Poly大小,看局部异常,芯片的关

键尺寸、线宽及孔径的测量。

    






  版权所有:上海聚跃检测技术有限公司        地址:上海钦江路333号钦江园37栋1楼       电话 :+86-21-54661506