SEM（扫描电子显微镜）

      扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一

束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电

子、X光信号、背面射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产

生的电磁辐射。根据信号强度形成形貌照片，能高倍率观察表面

外观形貌。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被

测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体

结构、电子结构和内部电场或磁场等。

应用范围：

观察芯片内部层次的厚度，看Poly大小，看局部异常，芯片的关

键尺寸、线宽及孔径的测量。