扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一 束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电 子、X光信号、背面射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产 生的电磁辐射。根据信号强度形成形貌照片,能高倍率观察表面 外观形貌。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被 测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体 结构、电子结构和内部电场或磁场等。 应用范围: 观察芯片内部层次的厚度,看Poly大小,看局部异常,芯片的关 键尺寸、线宽及孔径的测量。
扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一
束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电
子、X光信号、背面射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产
生的电磁辐射。根据信号强度形成形貌照片,能高倍率观察表面
外观形貌。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被
测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体
结构、电子结构和内部电场或磁场等。
应用范围:
观察芯片内部层次的厚度,看Poly大小,看局部异常,芯片的关
键尺寸、线宽及孔径的测量。